MEMS : Micro-Electro-Mechanical Systems

Depuis des décennies, le déploiement des systèmes intelligents délocalisés a nécessité la mise au point des technologies sophistiquées de miniaturisation, appelées MEMS. En pleine croissance, ces microsystèmes électromécaniques sont puissants -en interfaçage et en calcul- et offrent un bilan énergétique optimal. Leur développement représente un défi à la fois technique et économique.

Dans l’optique d’acquérir les connaissances techniques et scientifiques de base dans cette discipline, le cours MEMS fera interagir activement étudiants et professionnels. Il propose une articulation autour de trois axes intimement liés : 1) aspects relatifs aux matériaux et à la fabrication, 2) passage de l‘électronique discrète en intégrée, 3) passage de la mécanique à la micromécanique.