Cours sur la technique du vide et des couches minces.

Chapitres :

  1. Introduction
  2. Organisation et laboratoires
  3. Technique du vide
    1. Introduction
    2. Notions de thermodynamique
    3. Pression hydrostatique
    4. Notions de technique du vide
    5. Éléments pour le vide
  4. Couches minces
    1. Introduction
    2. Dépôt PVD
    3. Dépôt CVD et méthodes purement chimiques
    4. Techniques d’analyse